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RTP滑動式快（kuài）速退火爐
- 產品描（miáo）述
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產品用途：
該電爐采用紅外燈管加熱，通過滑動爐體實現快速降溫。應用於（yú）半導體或太陽（yáng）能電池基片退火。也可用（yòng）於快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化（huà）、矽化物合金退火、電極合金化、氧化物生長（zhǎng）、離子注入後（hòu）退火、薄膜沉積等工藝試驗。
產品特點：
可在真空/氣氛/空氣等不同環（huán）境（jìng）下通過快速移動（dòng）爐體，加之強風（fēng）冷設計，可對樣品進行快速升降溫處（chù）理；溫控精（jīng）度高，最大升溫速率30℃/s;緊湊的台式設（shè）計，快速連接法（fǎ）蘭，減少（shǎo）了爐（lú）管因安裝造成（chéng）損壞的可能，方便操作。
技術參數：
產（chǎn）品名稱
RTP滑動式快（kuài）速退（tuì）火爐
產品型號
RTP-G11103-K
額定功率
9KW
最高溫度
1000℃
工作溫度
950℃（＜1小時（shí））
石英管尺寸
Φ110*360mm
加熱區（qū）長度
190mm
恒溫區長度（dù）
100mm
加熱元件
紅外燈管
溫度控製
國產程序控溫係統可（kě）編輯50段程序控溫
控溫定度
±1℃
爐管材質
石（shí）英管
滑動距離
355mm
滑動方式（shì）
手動
建議升（shēng）降溫速度
30℃-50℃/min
外形尺寸
565*960*665
關鍵詞：
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聯係方式
地（dì）址: 天津北（běi）辰科技園區雙川道11號
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